全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種應(yīng)用于密閉系統(tǒng)泄漏檢測(cè)的高精度檢漏設(shè)備。它通過(guò)偵測(cè)樣品中的氦氣濃度來(lái)判斷泄漏位置和泄漏量大小，其檢測(cè)精度高達(dá)10的負(fù)十五次方（1x10-15），是目前一種較為精準(zhǔn)、全面的泄漏檢測(cè)手段。

　　原理方面，全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀利用了氦原子的極小尺寸和直線飛行特性，將樣品與氦氣注入檢測(cè)儀器，使氦氣經(jīng)過(guò)樣本內(nèi)壁小孔，并被泄漏氣體吸附。儀器通過(guò)大氣壓力將氦氣從樣品內(nèi)部抽出，再分析經(jīng)過(guò)樣品內(nèi)部流通的氦氣的濃度，從而確定泄漏程度。這種方法不會(huì)對(duì)被檢測(cè)系統(tǒng)產(chǎn)生損害，且檢測(cè)靈敏度高、速度快、精度高、可重復(fù)性好等特點(diǎn)。

　　對(duì)于使用環(huán)境而言，全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀的使用要求相對(duì)較高。首先，整個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)需要在較高的真空環(huán)境下操作，所以?xún)x器一般需要設(shè)置相應(yīng)的氣體閥門(mén)和真空泵等輔助設(shè)備，來(lái)保證儀器的工作環(huán)境。其次，在檢測(cè)系統(tǒng)真空環(huán)境下，需要保證樣品設(shè)備沒(méi)有其他方向上的泄漏，并需要將系統(tǒng)與空氣中其他氣體隔離，防止外部氣體的干擾。最后，由于氦氣是一種具有微小分子、不易吸附的氣體，因此使用過(guò)程中要避免氦氣外泄，并盡量避免與其他氣體混合使用。此外，檢測(cè)人員需要經(jīng)過(guò)專(zhuān)業(yè)的培訓(xùn)，熟悉所有儀器操作和特殊操作技巧，保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和精度。